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石英材料:0716-8304668/0716-8333088

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1

厚度

尺寸公差

平面度(PV)(通光面)

TTV

表面粗糙度(Ra)

劃痕

凹坑

崩邊

規(guī)格  Erance

≥0.5 mm

直徑 ± 0.1 mm   厚度 ± 0.02 mm

≤ λ ( λ = 632.8mm )

≤ 1 μm ( φ 200 mm )

≤ 0.01 μm

寬度 ≤ 10 μm

直徑 ≤ 25 μm

      可根據(jù)客戶要求,定做其他規(guī)格產(chǎn)品。 
      Other sizes available upon requests.

菲利華石英光掩膜基板
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