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主要性能及用途： FLH621/621H電熔石英材料，具有羥基含量低、純度高、耐高溫性能強(qiáng)等特性。廣泛應(yīng)

用于半導(dǎo)體行業(yè)作為擴(kuò)散爐及CVD爐元件的材料。